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真空用コネクタ ハーメチックコネクタ

真空・圧力・液体・ガス環境などでの製造や実験には密閉容器が必要になります。
密閉容器の気密を損なわずに電源を導入したり、内部のセンサー信号などを取り出すにはハーメチックコネクタと呼ばれる気密性を持ったコネクタが必要になります。
ハーメチックコネクタはハーメチックシール、フィードスルーなどとも呼ばれ、主にコネクタで簡単に脱着できる商品を指します。
コネクタでの接続ではなく、ネジ端子で接続されるものは電流導入端子、密封端子などと呼ばれます。

構造は導通部や絶縁部周辺は銀ろう付け、ガラスなどで封止され、フランジやチャンバーとは溶接によって接続されています。チャンバーとの着脱を容易にするためにはOリング、ガスケットなどを使用したフランジを使用します。

ピン配列はMIL-C-5015のMSコネクタ嵌合配列を基本に、オリジナルの配列や大電流端子の物も製作いたします。


フランジなし

ハーメチックコネクタの最もシンプルな形状です。
ユーザーにてチャンバーへの溶接が必要となります。
溶接による熱はハーメチックコネクタの気密部分に影響を及ぼす可能性がありますので
十分にご注意ください。

MSコネクタ
接続タイプ(48極)
特殊ピン配列 相手コネクタも特注品にて製作いたします


標準フランジ形状

標準的な規格品フランジに取り付けた製品のラインナップです。
気密容器にハーメチックコネクタに対応したフランジを用意することによって、ボルトナットなどで簡単に取り付けることができます。
VG/VF、CF、NW、JIS、ANSIなどのフランジが一般的です。
シール材は主にOリング、ガスケットが使用されます。

CF70フランジ(37極) ヒーター電源 23A
CF114フランジ(19極)
VG25フランジ(14極)
容器側はんだカップ
VG100フランジ
通常ピン・同軸
NW64フランジ(37極)
信号・熱電対信号用
JIS20K50A
加圧用フランジ(37極)


その他特殊フランジ形状

規格品のフランジでは支障のあるアプリケーションに対しては特注品のフランジ形状にて提案いたします。
角形、小判型、特殊Oリング用溝付き等、様々なご要望にお応えします。

角形フランジ(8極)
Burndyピン配列
狭ピッチ取付用の
特殊フランジ(3極)
角形フランジ
(ピン配列混合)


真空側(容器側)コネクタの提案

通常真空側(容器側)の接続にはアウトガスの懸念から汎用のコネクタは使用せず、ケーブルに接続されたソケットコンタクトのみを抜き挿しします。
しかし極数が多い場合には手間のかかる作業になり、挿し間違いの原因ともなります。

そのような要望にお応えするために、テフロン、PEEK、アルミナなどの絶縁物で真空側のソケットコンタクトを一つにまとめたコネクタをご用意しています。

標準品を基本に、材質、形状などをアレンジした特注品の対応も行っています


真空側コネクタ・大気側コネクタ
接続例(37極)
Tタイプ熱電対ハーメチック
コネクタの接続例(24極)
テフロン製真空側コネクタ
(37極)
PEEK製真空側コネクタ
(48極)
テフロン製真空側コネクタ
ケーブルクランプ付き
はんだカップによる
はんだ接続形状
BNC・真空側
同軸コネクタ
ダブルレセプタクルタイプのハーメチックコネクタを選ぶことにより
真空側コネクタにもネジロック機構を 取り入れられます

その他特殊ハーメチックコネクタ


ねじ接続の電流導入端子
(27極)
高周波、高電圧用
パイプ状端子
冷却水の導入付き
フィードスルー
BNCのハーメチックコネクタ
(シールドフローティング)
プラグに電気接点を
取り付けた製品
耐電圧DC30kVの電流導入端子
ガラス封止の
ハーメチックコネクタ(19極)
180A 150℃ Oリングシールによる
大電流用ハーメチックコネクタ(47極)

銀ろう付けの技術を使用した製品


フィラメントベース 絶縁継手 絶縁継手
 
水冷板  

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